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Electron beam physical vapor deposition

Indice Electron beam physical vapor deposition

Evaporateur métallique « E-gun » utilisé au centre de recherche « Thales Research & Technology » du milieu des années 80 jusqu’en 2004 pour l’évaporation des sandwichs métalliques de contact ohmique et de grille. L’évaporation par faisceau d’électrons (aussi évaporation par faisceau électronique; en anglais: Electron-beam physical vapor deposition / EBPVD, aussi simplement electron-beam evaporation) est une forme de dépôt physique en phase gazeuse, plus spécifiquement d’évaporation sous vide, dans laquelle une anode cible sous vide poussé est bombardée par un faisceau d’électrons émis par un canon à électrons.

84 relations: Acétylène, Ampère, Anode, Atome, Électron, Électron secondaire, Électronique (technique), Évaporation, Borure, Canon à électrons, Canon à ions, Carbone, Carbure, Carbure de silicium, Carbure de titane, Carbure de tungstène, Chambre à vide, Circuit intégré, Coefficient d'expansion thermique, Composé chimique, Condensation, Congruence, Contamination, Couche mince, Coupe, Creuset, Cristallite, Cuivre, Décomposition chimique, Dépôt chimique en phase vapeur, Dépôt de couche mince, Dépôt physique par phase vapeur, Diffusion de la matière, Eau, Effet Joule, Faisceau de particules chargées, Foret, Gravure, Industrie des semi-conducteurs, Infrarouge, Ion, Ionisation, Lingot, Matériau, Matériau réfractaire, Matière, Mécanique (science), Métal, Microstructure (matériaux), Millimètre de mercure, ..., Molécule, Nitrure, Nitrure d'aluminium, Nitrure de titane, Nitrure de zirconium, Optique, Outil, Oxyde, Oxygène, Polycristal, Porosité, Pression, Procédé industriel, Protection thermique, Pulvérisation, Pulvérisation cathodique, Rayon X, Réflectance, Rugosité, Science des surfaces, Secteur aéronautique et spatial, Stœchiométrie, Substrat (électronique), Température homologue, Tension électrique, Thermolyse (chimie), Titane, Traitement anti-usure, Transmittance, Usinage, Vaporisation, Vias, Vide (physique), Zirconium. Développer l'indice (34 plus) »

Acétylène

L’acétylène (appelé éthyne par la nomenclature IUPAC) est un hydrocarbure de la classe des alcynes de formule brute.

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Ampère

L’ampère (symbole A) est l'unité de mesure du Système international d'unités de l'intensité du courant électrique, BIPM, 2014 (consulté le 14 mars 2017).

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Anode

L'anode d'un appareil passif parcouru par un courant continu est l'électrode où, en sens conventionnel, entre le courant (en courant électronique, l'électrode d'où sortent les électrons).

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Atome

hélium 4, agrandi à droite, est formé de deux protons et de deux neutrons. Atomes de carbone à la surface de graphite observés par microscope à effet tunnel. Un atome est la plus petite partie d'un corps simple pouvant se combiner chimiquement avec un autre.

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Électron

L'électron, un des composants de l'atome avec les neutrons et les protons, est une particule élémentaire qui possède une charge élémentaire de signe négatif.

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Électron secondaire

Un électron secondaire est un électron arraché à la surface d'un solide au cours d'un processus d'ionisation lui-même produit par une interaction avec un autre rayonnement appelé alors « rayonnement primaire ».

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Électronique (technique)

Composants de circuits électroniques. L'électronique est une branche de la physique appliquée,.

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Évaporation

Lévaporation est le passage d'un liquide de l'état liquide à l'état gazeux à sa surface.

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Borure

Un borure est un composé chimique du bore avec un deuxième élément chimique d'électronégativité plus faible.

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Canon à électrons

Un canon à électrons est un dispositif permettant de produire un faisceau d'électrons.

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Canon à ions

Un canon à ions est un dispositif permettant la propulsion d'ions dans une direction prédéfinie.

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Carbone

Le carbone est l'élément chimique de et de Il possède trois isotopes naturels.

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Carbure

Échantillons de carbure de calcium. Un carbure est un composé chimique du carbone avec un deuxième élément chimique autre que l’oxygène.

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Carbure de silicium

Le carbure de silicium est un composé chimique de formule SiC.

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Carbure de titane

Le carbure de titane est un composé chimique de formule TiC.

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Carbure de tungstène

Le carbure de tungstène est un composé chimique de formule WC.

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Chambre à vide

Une chambre à vide (appelée également enceinte ou cloche à vide) est une enceinte rigide dans laquelle l'air et d'autres gaz sont en grande partie éliminés par une pompe à vide.

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Circuit intégré

Le circuit intégré (CI), aussi appelé puce électronique, est un composant électronique, basé sur un semi-conducteur, reproduisant une ou plusieurs fonctions électroniques plus ou moins complexes, intégrant souvent plusieurs types de composants électroniques de base dans un volume réduit (sur une petite plaque), rendant le circuit facile à mettre en œuvre.

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Coefficient d'expansion thermique

Le coefficient d'expansion thermique, ou coefficient de dilatation isobare, est un coefficient calorimétrique défini par: avec.

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Composé chimique

La vitamine B8 est un composé chimique qui comprend du carbone, de l'azote, du soufre, de l'oxygène et de l'hydrogène. Un composé chimique ou corps composé par opposition au corps simple, en chimie, est une substance chimique pure composée d'au moins deux éléments chimiques différents.

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Condensation

''« Condensation liquide »'' (de brume sur un rameau). Cette eau est dite ''« météoritique »'' ou hydrométéore La condensation est le phénomène physique de changement d'état de la matière d'un état gazeux à un état condensé (solide ou liquide).

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Congruence

Pas de description.

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Contamination

agar La contamination est la présence d'un constituant, d'une impureté ou d'autres éléments indésirables qui gâtent, corrompent, infectent, rendent impropre ou rendent inférieur un matériau, un corps physique, un environnement naturel, un lieu de travail.

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Couche mince

Une couche mince est un revêtement dont l’épaisseur peut varier de quelques couches atomiques à une dizaine de micromètres.

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Coupe

Coupe peut désigner.

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Creuset

silicium dopé par le procédé de Czochralski. Un creuset est un pot en matériau réfractaire ou en métal servant à la fusion ou la calcination.

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Cristallite

Représentation schématique d'un ensemble de cristallites Un (ou une) cristallite (crystallite en anglais) est un domaine de matière ayant la même structure qu'un monocristal.

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Cuivre

Le cuivre est l'élément chimique de numéro atomique 29, de symbole Cu.

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Décomposition chimique

La décomposition chimique (ou breakdown en anglais) est la division d'un composé chimique en d'autres composés chimiques plus simples, y compris des éléments chimiques.

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Dépôt chimique en phase vapeur

Schéma d'un CVD Le dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour l'anglais chemical vapor deposition) est une méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux.

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Dépôt de couche mince

Le dépôt de couche mince désigne l'ensemble des techniques qui permettent de déposer une couche mince ou film mince de matériau sur un substrat ou sur des couches déposées antérieurement.

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Dépôt physique par phase vapeur

Montage expérimental d’une évaporation par dépôt chimique vapeur Le dépôt physique en phase vapeur (ou PVD pour l'anglais physical vapor deposition) est un ensemble de méthodes de dépôt sous vide de films minces.

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Diffusion de la matière

La diffusion de la matière, ou diffusion chimique, désigne la tendance naturelle d'un système à rendre uniforme le potentiel chimique de chacune des espèces chimiques qu'il comporte.

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Eau

L'eau est une substance chimique constituée de molécules.

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Effet Joule

Échauffement par effet Joule de la résistance d'un grille-pain. L'effet Joule est la manifestation thermique de la résistance électrique qui se produit lors du passage d'un courant électrique dans tout matériau conducteur.

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Faisceau de particules chargées

Un faisceau de particules chargées est un ensemble de particules chargées qui se propagent globalement dans une même direction.

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Foret

Un foret ou une mèche est un outil qui sert à faire ou usiner des trous, le plus souvent avec une perceuse.

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Gravure

Le terme de gravure désigne l'ensemble des techniques artistiques, artisanales ou industrielles qui utilisent l’incision ou le creusement pour produire une image, un texte ou toute autre inscription dans la matière.

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Industrie des semi-conducteurs

L'industrie des semi-conducteurs est un secteur industriel qui regroupe les activités de conception, de fabrication et de commercialisation des semi-conducteurs.

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Infrarouge

Le rayonnement infrarouge (IR) est un rayonnement électromagnétique de longueur d'onde supérieure à celle du spectre visible mais plus courte que celle des micro-ondes ou du domaine térahertz.

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Ion

+) a comme logique d'avoir la même structure électronique que le gaz noble (cadre rouge) le plus proche. Un ion est un atome ou un groupe d'atomes portant une charge électrique, parce que son nombre d'électrons est différent de son nombre de protons.

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Ionisation

L'ionisation est l'action qui consiste à ajouter ou enlever des charges à un atome ou une molécule électriquement neutre, qui devient ainsi un ion (chargé positivement ou négativement).

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Lingot

Un lingot d'aluminium. Un lingot est une masse définie d'un métal coulée en un bloc solide.

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Matériau

métaux ou des alliages. Un matériau est toute matière utilisée pour réaliser un objet au sens large.

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Matériau réfractaire

Un matériau réfractaire est un matériau qui a une forte résistance à un facteur (physique, chimique, biologique) susceptible de le dégrader, le plus souvent la chaleur.

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Matière

En physique, la matière est ce qui compose tout corps (objet ayant une réalité spatiale et massique).

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Mécanique (science)

La mécanique (du grec ancien, « l'art mécanique ») est une branche de la physique dont l'objet est l'étude du mouvement, des déformations ou des états d'équilibre des systèmes physiques.

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Métal

En chimie, les métaux sont des matériaux dont les atomes sont unis par des liaisons métalliques.

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Microstructure (matériaux)

Microstructure d'origine organique: celle d'un œuf, mise en évidence par une source lumineuse. Le concept de microstructure peut se définir indépendamment des matériaux considérés (métaux, céramiques ou matières plastiques).

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Millimètre de mercure

Le millimètre de mercure (symbole mmHg) ou torr (symbole Torr) est une unité de mesure de la pression.

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Molécule

alt.

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Nitrure

revêtement de nitrure de titane. Les nitruresGreenwood N.N. & Eanrshaw A (2003) Chemistry of the elements.

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Nitrure d'aluminium

Le nitrure d'aluminium est un semiconducteur III-V à gap direct de à.

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Nitrure de titane

Pas de description.

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Nitrure de zirconium

Pas de description.

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Optique

L'optique est la branche de la physique qui traite de la lumière, de son comportement et de ses propriétés, du rayonnement électromagnétique à la vision en passant par les systèmes utilisant ou émettant de la lumière.

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Outil

Une boîte à outils en bois des années 1950. Un outil est un objet physique utilisé par un être vivant directement, ou par l'intermédiaire d'une machine, afin d'exercer une action le plus souvent mécanique, ou thermique, sur un élément d'environnement à traiter (matière brute, objet fini ou semi-fini, être vivant, etc).

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Oxyde

Six oxydes de terres rares (dans le sens des aiguilles d'une montre à partir d'en haut à gauche): gadolinium, praséodyme, cérium, lanthane, néodyme et samarium. Un oxyde est un composé de l'oxygène avec un élément moins électronégatif que lui, c'est-à-dire tous sauf le fluorLes composés de l'oxygène et du fluor sont appelés.

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Oxygène

L'oxygène est l'élément chimique de numéro atomique 8, de symbole O. C'est la tête de file du groupe des chalcogènes, souvent appelé groupe de l'oxygène.

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Polycristal

Un polycristal ou matériau polycristallin est un matériau solide constitué d'une multitude de petits cristaux appelés cristallites de taille, de forme et d'orientation variées, séparés par des joints de grains.

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Porosité

La porosité est l'ensemble des vides (pores) d'un matériau, ces vides sont remplis par des fluides (liquides ou gaz).

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Pression

La pression est une grandeur physique qui traduit les échanges de quantité de mouvement dans un système thermodynamique, et notamment au sein d'un solide ou d'un fluide.

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Procédé industriel

Paolo Monti, 1958. Un procédé industriel est un procédé de nature mécanique ou chimique destiné à produire des objets ou à synthétiser des produits chimiques, en grande quantité et dans des conditions techniquement et économiquement acceptables.

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Protection thermique

La protection thermique, dans le domaine de l'astronautique, comme dans tout autre domaine, est l'ensemble des dispositifs utilisés pour éviter qu'un corps soit soumis à des variations excessives de température.

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Pulvérisation

Pulvérisation peut faire référence à.

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Pulvérisation cathodique

Pulvérisation cathodique magnétron en cours de dépôt de couche mince La pulvérisation cathodique (ou sputtering) est un phénomène dans lequel des particules sont arrachées à une cathode dans une atmosphère raréfiée.

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Rayon X

Une des premières radiographies, prise par Wilhelm Röntgen. Rayon X sur poumons humains. rayons X sont déjà utilisés pour la surveillance aux frontières et dans les aéroports, sur les objets et les véhicules. D'autres sont en test ou à l'étude concernant l'humain. Les rayons X sont une forme de rayonnement électromagnétique à haute fréquence constitué de photons dont l'énergie varie d'une centaine d'eV (électronvolt), à plusieurs MeV.

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Réflectance

Réflectance de la surface pour trois métaux en fonction de la longueur d'onde. En photométrie, la réflectance, également nommée facteur de réflexion, est la proportion de lumière réfléchie par la surface d'un matériau.

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Rugosité

Une planche en bois. Sa rugosité diffère selon les faces. La rugosité est une caractéristique de l’état de surface d'un matériau solide.

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Science des surfaces

La science des surfaces est une section de la science des matériaux consacrée à l'étude des phénomènes physiques et chimiques qui se produisent à l' entre deux phases ou entre une phase et le vide.

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Secteur aéronautique et spatial

Le secteur aéronautique et spatial concerne les industries des secteurs de l'aéronautique et de l'espace, mais également l'industrie de l'armement.

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Stœchiométrie

Équation de réaction équilibrée illustrant la stœchiométrie de la réaction de combustion du méthane. En chimie, la stœchiométrie, du grec ancien / (« élément ») et / (« mesure »), est un calcul qui permet d'analyser les quantités de réactifs et de produits qui sont en jeu au cours d'une réaction chimique.

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Substrat (électronique)

En électronique, pour la fabrication de semi-conducteur (circuit intégré, transistor, diode), un support de silicium pur est utilisé.

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Température homologue

La température homologue d'une substance est le rapport de sa température à son point de fusion, tous deux exprimés en kelvinsJ.

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Tension électrique

La tension électrique est la circulation du champ électrique le long d'un circuit électrique mesurée en volts par un voltmètre.

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Thermolyse (chimie)

La thermolyse (ou décomposition thermique, ou dissociation thermique) est une décomposition chimique causée par la chaleur, une rupture des molécules conduisant à des composés moins complexes, qui peuvent à leur tour se décomposer si la température augmente.

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Titane

Le titane est l'élément chimique de numéro atomique 22, de symbole Ti.

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Traitement anti-usure

Un traitement anti-usure est un procédé visant à améliorer la résistance d'un métal à l'usure.

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Transmittance

La transmittance, en général, est le rapport caractérisant la transmission d'une grandeur dans un système.

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Usinage

Usinage sur un chantier naval. Elswick, Newcastle upon Tyne. Première Guerre mondiale L'usinage est une famille de procédés de fabrication de pièces par enlèvement de copeaux.

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Vaporisation

De l'eau vaporisée par ébullition dans une casserole. La vaporisation est l'une des six transformations fondamentales de la physique.

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Vias

Vias (en occitan Viàs) est une commune française située dans le sud du département de l'Hérault, en région Occitanie.

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Vide (physique)

En physique, le vide est l'absence de toute matière.

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Zirconium

Le zirconium est l'élément chimique de numéro atomique 40, de symbole Zr.

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Redirections ici:

EBPVD, Évaporation par faisceau d'électrons, Évaporation par faisceau électronique.

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